Чөлөөт нэвтэрхий толь болох Энгийн англи Wikipedia-аас. Фотолитограф нь гэрэл зураг ба литографийн хослол юм. Үүний хэрэглээ нь гэрэл зургийг бөөнөөр нь хэвлэх явдал юм.
Фотолитограф гэж юу гэсэн үг вэ?
Фотолитографийг оптик литографи эсвэл хэт ягаан туяаны литографи гэж нэрлэдэг бөгөөд нимгэн хальс эсвэл субстратын дийлэнх хэсгийг (мөн өрөм гэж нэрлэдэг) бичил үйлдвэрлэлд ашигладаг процесс юм.. … Энэ арга нь хэдхэн арван нанометр хэмжээтэй маш жижиг хээ үүсгэж чадна.
Яагаад үүнийг фотолитограф гэж нэрлэдэг вэ?
Хагас дамжуулагч литографи (Гэрэл зураг) - Үндсэн процесс . Нэгдсэн хэлхээг (IC) бүтээхэд хагас дамжуулагч (жишээ нь, цахиур) субстратдээр гүйцэтгэх янз бүрийн физик, химийн процессууд шаардлагатай. … Литограф гэдэг үг нь чулуу гэсэн утгатай Грекийн литос, бичих гэсэн утгатай graphia гэсэн үгнээс гаралтай.
Фотолитографийн төрлүүд юу вэ?
Тойм. Өртөхөд ашигласан цацраг туяанаас хамааран литографийн аргууд нь өөр өөр байдаг: оптик литографи (фотолитографи), электрон цацраг литографи, рентген литографи, ион туяаны литографи.
Нанотехнологид фотолитограф гэж юу вэ?
Фотолитограф нь төхөөрөмжийн материалын зүсмэлийн гадаргуу дээрх хэв маягийг тодорхойлох үйл явц юм. … Загварын тодорхойлолтыг фоторезистийн давхаргыг эргүүлснээр гүйцэтгэнэ(хэт ягаан туяанд мэдрэмтгий шингэн) төхөөрөмжийн материалын зүсмэл дээр хийнэ. Эсэргүүцэл нь маскаар дамжин хэт ягаан туяанд сонгомол өртдөг.
