Хагас дамжуулагч литографийн хувьд (мөн фотолитографи гэж нэрлэдэг) манай чулуунууд нь цахиур хавтан бөгөөд бидний хэв маягийг гэрэл мэдрэмтгий полимерээр бичсэн байдаг.
Фотолитограф гэж юу гэсэн үг вэ?
Фотолитографийг оптик литографи эсвэл хэт ягаан туяаны литографи гэж нэрлэдэг бөгөөд нимгэн хальс эсвэл субстратын дийлэнх хэсгийг (мөн өрөм гэж нэрлэдэг) бичил үйлдвэрлэлд ашигладаг процесс юм.. … Энэ арга нь хэдхэн арван нанометр хэмжээтэй маш жижиг хээ үүсгэж чадна.
Яагаад литографийг хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд ашигладаг вэ?
Фотолитографи нь геометрийн хэв маягийг хальс эсвэл субстрат руу шилжүүлэх бичил үйлдвэрлэлд ашигладаг процесс юм. Хагас дамжуулагч дээрх геометрийн хэлбэр, хээ нь нэмэлт бодис, цахилгаан шинж чанар, утаснууд нь хэлхээг дуусгах, технологийн зорилгыг биелүүлэх боломжийг олгодог цогц бүтцийг бүрдүүлдэг.
Фотолитографийн зорилго юу вэ?
Фотолитографи нь бичил үйлдвэрлэлийн хамгийн чухал бөгөөд хялбар аргуудын нэг бөгөөд материалд нарийвчилсан хэв маягийг бий болгоход хэрэглэгддэг. Энэ аргын хувьд гэрэлд мэдрэмтгий полимерийг хэт ягаан туяанд сонгон өртүүлэх замаар хэлбэр эсвэл хэв маягийг сийлбэрлэж болно.
Хагас дамжуулагч литографийн төхөөрөмж гэж юу вэ?
Хагас дамжуулагч литографийн төхөөрөмжийг хагас дамжуулагч чипийн өртөлтийн үе шатанд ашигладаг.үйлдвэрлэлийн процесс. … Хагас дамжуулагч литографийн төхөөрөмж нь торлог гэж нэрлэгддэг анхны хавтан дээр бичигдсэн хэлхээний хээг багасгахын тулд проекцын линзийг ашигладаг бөгөөд хээг өрөмт цаасан дээр ил гаргадаг.
