Дараах зүйлсийн аль нь фотолитографийн үйл явцыг хамгийн сайн дүрсэлсэн бэ? а. Загварыг доод давхарга эсвэл субстратын бөөнөөр нь шилжүүлэх процессын алхам. … Загварыг тодорхойлж, өрөм дээрх эсэргүүцэх давхарга руу шилжүүлэх үйл явц.
Фотолитографийн процесс гэж юу вэ?
Фотолитографи нь маск дээрх геометрийн дүрсийг цахиур ялтсуудын гадаргуу руу шилжүүлэх үйл явц юм. Фотолитографийн процесст хамаарах үе шатууд нь вафель цэвэрлэх; саад тотгорын давхарга үүсэх; photoresist програм; зөөлөн жигнэх; маск тохируулах; өртөх, хөгжүүлэх; болон хатуу боов.
Фотолитографийн 3 үндсэн алхам юу вэ?
Фотолитографи нь хээг маскнаас вафель руу шилжүүлэхийн тулд гурван үндсэн процессыг ашигладаг: хавхлах, боловсруулах, ил гаргах. Загвар нь дараагийн процессын явцад вафельний гадаргуугийн давхарга руу шилждэг.
Фотолитографи гэж юуг жишээгээр дүрсэлсэн бэ?
1: гэрэл зургийн аргаар бэлтгэсэн ялтсуудыг ашигласан литограф. 2: хээг сийлбэрлэх зорилгоор гадаргуу руу гэрэл зургаар шилжүүлэх үйл явц (нэгдсэн хэлхээ үүсгэх гэх мэт) Фотолитографийн бусад үгс Жишээ өгүүлбэр Фотолитографийн талаар нэмэлт мэдээлэл авах.
Фотолитографийн шаардлага юу вэ?
Ерөнхийдөө аФотолитографийн процесст гурван үндсэн материал, гэрлийн эх үүсвэр, фото маск, фоторезист шаардлагатай. Гэрэл мэдрэмтгий материал болох Photoresist нь эерэг ба сөрөг гэсэн хоёр төрөлтэй. Гэрлийн эх үүсвэрт өртсөний дараа эерэг фоторезист илүү уусдаг.
