Фотолитографийг компьютерийн чип үйлдвэрлэхэд түгээмэл ашигладаг. Компьютерийн чипийг үйлдвэрлэхэд субстрат материал нь силиконоор бүрхэгдсэн вафель юм. Энэ процесс нь нэг цахиур хавтан дээр нэгэн зэрэг хэдэн зуун чипс бүтээх боломжийг олгодог.
Фотолитографи хэрхэн хийдэг вэ?
Фотолитографи нь хээг маскнаас вафель руу шилжүүлэхийн тулд гурван үндсэн процессыг ашигладаг: хавхлах, боловсруулах, ил гаргах. Загвар нь дараагийн процессын явцад ваферийн гадаргуугийн давхаргад шилждэг. Зарим тохиолдолд эсэргүүцлийн хэв маягийг давхарласан нимгэн хальсны загварыг тодорхойлоход ашиглаж болно.
Яагаад үүнийг фотолитограф гэж нэрлэдэг вэ?
Хагас дамжуулагч литографи (Гэрэл зураг) - Үндсэн процесс . Нэгдсэн хэлхээг (IC) бүтээхэд хагас дамжуулагч (жишээ нь, цахиур) субстратдээр гүйцэтгэх янз бүрийн физик, химийн процессууд шаардлагатай. … Литограф гэдэг үг нь чулуу гэсэн утгатай Грекийн литос, бичих гэсэн утгатай graphia гэсэн үгнээс гаралтай.
Литограф яагаад чухал вэ?
Литографи нь хагас дамжуулагч хавтангийн гадаргууг бүрхсэн цацрагт мэдрэмтгий материал (эсэргүүцэл гэж нэрлэдэг) нимгэн давхаргад масктай геометр хэлбэрийн хэв маягийг шилжүүлэх үйл явц юм. Зураг 5.1-д IC үйлдвэрлэхэд ашигласан литографийн процессыг бүдүүвчээр дүрсэлсэн болно.
Литографийн аргад аль арга хамгийн өргөн хэрэглэгддэг вэ?
ОптикЛитографи нь цахиур хавтан гэх мэт субстрат дээр бүрсэн гэрэл мэдрэмтгий эмульс (фоторезист) болгон зургийг проекцлохоос бүрдсэн фотонд суурилсан техник юм. Энэ нь хагас дамжуулагчийн салбарт нано-электроникийн их хэмжээний үйлдвэрлэлд хамгийн өргөн хэрэглэгддэг литографийн процесс юм.
