Фотолитографи нь геометрийн хэв маягийг хальс эсвэл субстрат руу шилжүүлэхийн тулд бичил үйлдвэрлэлд ашигладаг процесс юм. Хагас дамжуулагч дээрх геометрийн хэлбэр, хээ нь нэмэлт бодис, цахилгаан шинж чанар, утаснууд нь хэлхээг дуусгах, технологийн зорилгыг биелүүлэх боломжийг олгодог цогц бүтцийг бүрдүүлдэг.
Фотолитографийн процесс гэж юу вэ?
Фотолитографийг оптик литографи эсвэл хэт ягаан туяаны литографи гэж нэрлэдэг нимгэн хальсан дээр хэсэг эсвэл субстратын дийлэнх хэсгийг (мөн өрөм гэж нэрлэдэг) бичил үйлдвэрлэлд ашигладаг процесс юм. … Нарийн төвөгтэй интеграл хэлхээнд CMOS хавтан нь фотолитографийн циклийг 50 хүртэл удаа дамждаг.
Бичил үйлдвэрлэлийн процесс гэж юу вэ?
Бичил үйлдвэрлэл гэдэг нь микрометр болон түүнээс бага хэмжээтэй бяцхан бүтэц үйлдвэрлэхүйл явц юм. … Микрофабрикийн үндсэн ойлголт, зарчим нь микролитографи, допинг, нимгэн хальс, сийлбэр, наалт, өнгөлгөө юм.
Хагас дамжуулагч дахь литографийн процесс гэж юу вэ?
Хагас дамжуулагч литографийн систем нь процессыг гүйцэтгэдэг бөгөөд ингэснээр том шилэн хавтангаар хийсэн фото маск дээр зурсан маш нарийн төвөгтэй хэлхээний хэв маягийг хэт өндөр хүчин чадалтай линз ашиглан багасгаж, гэж нэрлэгддэг цахиур субстрат дээр ил гаргадаг.талст боов. …
Үйлдвэрлэлийн явцад литограф гэж юу вэ?
Литограф болмаск доторх геометрийн хэлбэрийн хэв маягийг хагас дамжуулагч хавтанцарын гадаргууг бүрхсэн цацрагт мэдрэмтгий материалын нимгэн давхаргад шилжүүлэх үйл явц. Зураг 5.1-д IC үйлдвэрлэхэд ашигласан литографийн процессыг бүдүүвчээр дүрсэлсэн болно.
