Нойтон сийлбэр гэдэг нь шингэн химийн бодис эсвэл цацруулагч хавтангаас материалыг зайлуулах үйл явц юм. Тодорхой хэв маягийг вафель дээрх фоторезистийн маскуудаар тодорхойлно. Энэхүү маскаар хамгаалагдаагүй материалыг шингэн химийн бодисоор арилгадаг.
Ямар сургалтын материалыг хасдаг вэ?
Тайлбар: Etching нь вафель гадаргуугаас материалыг зайлуулахыг хэлнэ. Өргөст хальсан дээрх материалыг арилгах тодорхой хэсгийг сонгохын тулд уг процессыг ихэвчлэн литографтай хослуулдаг.
Сийлбэр нь материалыг арилгадаг уу?
Химийн сийлбэр нь өндөр даралтын өндөр температурт химийн шүршигч ашиглан материалыг арилгахын тулд металл дээр байнгын сийлбэртэй дүрс үүсгэх сийлбэр хийх арга юм. Материалын гадаргуу дээр маск эсвэл эсэргүүцэгч түрхэж, сонгож арилгадаг, металыг ил гаргаж, хүссэн дүр төрхийг бий болгоно.
Нойтон сийлбэр хийх үе шат гэж юу вэ?
Үндсэн нойтон сийлбэрлэх үйл явцыг гурван (3) үндсэн үе шатанд хувааж болно: 1) арилгахын тулд илчлэгчийг гадаргуу дээр тараах; 2) шингээгч болон зайлуулж буй материалын хоорондох урвал; ба 3) урвалд орсон гадаргуугаас урвалын дайвар бүтээгдэхүүний тархалт.
Хуурай сийлбэрт материалыг арилгахад юу ашигладаг вэ?
Хуурай сийлбэр гэдэг нь ихэвчлэн хагас дамжуулагч материалаас бүрхэгдсэн хээтэй материалыг -ийг ил гаргаж арилгахыг хэлнэ.ионыг бөмбөгдөх материал (ихэвчлэн фтор нүүрстөрөгч, хүчилтөрөгч, хлор, борын трихлорид зэрэг реактив хийн плазм; заримдаа азот, аргон, гели болон бусад хий нэмсэн)that …
