Металл органик химийн уурын хуримтлал (MOCVD) нь өндөр цэвэршилттэй талст нийлмэл хагас дамжуулагч нимгэн хальс болон микро/нано бүтцийг бий болгоход ашигладагпроцесс юм. Нарийвчилсан тохируулга, огцом интерфэйс, эпитаксиаль хуримтлал, өндөр түвшний нэмэлт бодисын хяналт зэрэгт хялбархан хүрч болно.
MOCVD болон CVD хоёрын ялгаа нь юу вэ?
MOCVD. Металл органик химийн уурын хуримтлал (MOCVD) нь химийн уурын хуримтлалын (CVD) нэг хувилбар бөгөөд ихэвчлэн талст микро/нано нимгэн хальс, бүтцийг хуримтлуулахад ашиглагддаг. Нарийн модуляц, гэнэтийн интерфэйс, допант хяналтыг сайн түвшинд хялбархан хийж болно.
Химийн уур хуримтлагдахад ямар хоёр хүчин зүйл байх ёстой вэ?
Гэсэн хэдий ч ЗСӨ-ний процесс нь ихэвчлэн өндөр температур, вакуум орчинг шаарддаг бөгөөд урьдал бодисууд дэгдэмхий байх ёстой.
Pecvd систем гэж юу вэ?
Цусны сийвэнгийн сайжруулсан химийн уурын хуримтлал (PECVD) нь стандарт Химийн уурын хуримтлалаас (CVD) бага температурт янз бүрийн материалын нимгэн хальсыг субстрат дээрбуулгах процесс юм.). Бид өндөр чанартай кино үйлдвэрлэдэг PECVD системдээ олон тооны шинэчлэлийг санал болгодог. …
Pecvd нь физикийн уур ялгаруулах техник мөн үү?
PECVD нь олон төрлийн хальсыг буулгахсайн батлагдсан техник юм. Олон төрлийн төхөөрөмжид өндөр чанарын идэвхгүйжүүлэх эсвэл өндөр нягтралтай маск үүсгэхийн тулд PECVD шаардлагатай.
